Документы

International Organization for Standardization

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration - Second Edition
 N 14644-2

Annotation

This part of ISO 14644 specifies minimum requirements for a monitoring plan for cleanroom or clean zone performance related to air cleanliness by particle concentration, based upon parameters that measure or affect airborne particle concentration.

This part of ISO 14644 does not address condition monitoring of aspects such as vibration or general maintenance of the engineering systems. It does not provide for monitoring of particle populations that are outside the specified lower threshold particle-size range, 0,1 m to 5 m. Concentrations of ultrafine particles (particles smaller than 0,1 m) will be addressed in a separate standard.

Автоматический перевод:

Чистые помещения и связанная окружающая среда, которой управляют - Часть 2: Контроль для представления свидетельств производительности чистого помещения, связанной с воздушной чистотой концентрацией частицы - Второй Выпуск

Эта часть ISO 14644 определяет минимальные требования для плана мониторинга для чистого помещения или чистой зональной производительности, связанной с воздушной чистотой концентрацией частицы, основанной на параметрах, измеряющих или влияющих на концентрацию переносимой по воздуху частицы.